產(chǎn)品型號：
更新時間：2026-03-02
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪 問 量 ：991
15214375780
產(chǎn)品分類
相關文章
| 品牌 | 其他品牌 | 流動方向 | 單向 |
|---|---|---|---|
| 3C閥門類別 | 工業(yè) | 應用領域 | 能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥
61.3 高真空蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節(jié)流元件，改變閥門開度的流導特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置，以盡快實現(xiàn)設定壓力。
該系列產(chǎn)品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持正常運行。
61.3 系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。憑借堅固的設計、直接安裝選項，以及簡單且輕松的維護，61.3 系列在各個方面都令人信服。
閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成。
61.3 高真空蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成，標準法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F，可以集成客戶指定法蘭和特殊功能，如集成式絕緣加熱器?？筛鶕?jù)要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體（氟橡膠為標準選項）。
特點：
壓力控制
運行非常快
板載軟件，用于本地運行
惡劣工藝條件下可實現(xiàn)可靠運行
優(yōu)勢：
工藝可控性更好
正常運行時間長/性能不受限
運行成本低
瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥
掃碼加微信
當前位置：
上一個：
返回列表
