瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

1. 核心參數(shù)概覽

2. 機(jī)械與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

閥體與密封系統(tǒng)

• 蝶板設(shè)計(jì)：

• 采用低慣量鈦合金蝶板，減少顆粒生成，適合潔凈環(huán)境（符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)）。

• 動態(tài)平衡結(jié)構(gòu)，降低氣流擾動對晶圓工藝的影響。

• 密封技術(shù)：

• 金屬密封：金包覆不銹鋼密封圈，耐高溫烘烤（≤150°C持續(xù)），抗等離子體腐蝕。

• 彈性體密封（可選）：FKM材質(zhì)，適用于非腐蝕性氣體環(huán)境（漏率略高，約10?? mbar·l/s）。

執(zhí)行機(jī)構(gòu)

• 氣動模塊：

• 標(biāo)配氣壓范圍：4-6 bar（干燥空氣或氮?dú)怛?qū)動）。

• 可選防爆設(shè)計(jì)（ATEX認(rèn)證）。

• 位置反饋：

• 高精度電位器或霍爾傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)控閥門開度（精度±0.5%）。

3. 性能曲線與關(guān)鍵指標(biāo)

流量特性

• Cv值：0.8（全開時(shí)，介質(zhì)為空氣）。

• 流量調(diào)節(jié)比：100:1（線性控制區(qū)間）。

真空保持能力

4. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用詳解

典型設(shè)備集成

兼容性數(shù)據(jù)

• 氣體介質(zhì)：

• 兼容腐蝕性氣體（WF?、NH?、SiH?等），需指定鍍層（如PTFE或Al?O?）。

• 顆?？刂?/span>：

• 符合ISO 14644-1 Class 4潔凈度要求（每立方米≤3520顆粒，粒徑≥0.5 μm）。

5. 安裝與維護(hù)指南

安裝要點(diǎn)

1. 法蘭對接：

• 使用無應(yīng)力安裝工具，避免閥體變形（扭矩限制：≤10 Nm）。

2. 氣路連接：

• 氣源需配備0.1 μm過濾器，防止顆粒污染。

維護(hù)周期

• 常規(guī)檢查：

• 每3個(gè)月檢查密封面磨損（金屬密封壽命約10?次循環(huán)）。

• 深度維護(hù)：

• 每2年或50萬次循環(huán)后更換密封圈（原廠維修包編號：VAT-MK-61332）。

  優(yōu)勢供應(yīng)：

商品編號61338-PEAE-0001

商品編號61348-PECN-0001

商品編號61340-PECE-0001

商品編號61344-PAAX-0001

商品編號61344-PEAX-0001

商品編號 61350-PAAK-0001

商品編號61338-PAAN-0001

商品編號61348-PAAQ-0001

 61336-PACX-0001

 61336-PACE-0001

61348-PEAQ-0001

61340-PECX-0001

61340-PACF-0001

61350-PAGQ-0001

61344-PACQ-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001